一款滿量程 0.5SCCM 超微流量高精度的熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)

發(fā)布日期：2026-01-27      瀏覽次數(shù)：639

一款滿量程 0.5SCCM 超微流量高精度的熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)

品牌：AEORHC

 型號(hào)：5800 系列 

 工作原理：

 傳感器采用 316L 不銹鋼毛細(xì)管旁路熱式原理，

 比例閥采用 316 L材料和不銹鐵閥芯，

 密封材料采用氟橡膠 FKM / 鐵氟龍 PTFE / 全氟 FFKM, 

 或金屬密封， 

 閥體采用 316L 不銹鋼材料，

 數(shù)字通訊 Modbus RTU 或 485，兼容 模擬通訊 0-5V ,

 適用范圍：

 可以用于普通氣體或腐蝕性氣體，

 一般耐壓1Mpa, 高壓款耐壓 10Mpa，

 數(shù)顯屏可選，通過按鍵可以獨(dú)立操作，

 提供防爆型號(hào)，用于環(huán)境要求高的場(chǎng)合，

 滿量程 0.5SCCM， 相當(dāng)于流量 0.5mL/Min, 

 最小流量可以做到 0.01mL/Min , 

 采用高精度傳感器， 

 為微流量氣體測(cè)控，

 提供性價(jià)比高的產(chǎn)品 

 應(yīng)用領(lǐng)域：

 實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、分析儀器、工業(yè)過程控制、

新能源、半導(dǎo)體設(shè)備等

 技術(shù)背景：

 產(chǎn)品技術(shù)來源于美國(guó)和日本，

 關(guān)鍵原材料和元器件從國(guó)外進(jìn)口